41.7%！2023科创板公司毛利率保持高位

什么是虚拟电厂?

虚拟电厂不是实体建筑，而是一个智能能源管理系统。它通过数字化手段，把分散的风电、光伏、储能设备、工厂用电设备等连接起来，像指挥交响乐团一样协调这些能源的供需。在用电高峰时，它能调动企业闲置的电力资源参与电网调节，既缓解了电网压力，又让企业获得额外收益。

企业能获得哪些好处?

对于绍兴的高耗能企业来说，这个项目就像装上了"绿色提款机"：首先，企业可以通过参与电网需求响应获得补贴，部分企业年收益可达百万级别;其次，项目将帮助企业开展绿电交易，降低碳排放成本，提升产品在国际市场的竞争力;最后，通过智能化的能源管理，企业还能降低整体用电成本，实现"省钱又赚钱"的双赢。

为什么选择在绍兴落地?

绍兴柯桥区作为工业重镇，聚集了大量纺织、印染等高耗能企业，能源转型需求迫切。项目将以杭绍临空示范区为起点，逐步覆盖柯桥全区，最终向全省推广。这种"试点-推广"的模式，既保证了项目的可行性，又能快速形成规模效应。

未来规划：三步走战略

项目制定了清晰的发展路线：2026年完成示范区核心企业接入;2027年覆盖柯桥区重点工业集群;2030年前向全省推广。这种循序渐进的方式，既保证了项目质量，又能让更多企业尽快受益。

临空新奥虚拟电厂项目的落地，标志着绍兴在智慧能源领域迈出了重要一步。对于企业来说，这不仅是节能减排的良机，更是转型升级的契机。在"双碳"目标的大背景下，谁能率先拥抱这种创新模式，谁就能在未来的市场竞争中占据先机。

未来已来!临空新奥虚拟电厂开工建设，打造智慧能源新标杆

京 (數字單位)

埃普特河畔圣克莱尔

勒克雷姆兰-比塞特尔

据报道，多特对重新签下桑乔确实很感兴趣，赛季结束后，他将以自由球员身份离开曼联，这是几个月前就已决定的，他将评估所有报价。

而根据The Athletic此前的报道，如果能与球员就财务条款达成一致，多特对完成这笔交易很感兴趣。

多特计划在今夏对阵容进行重大调整，他们已经宣布，包括布兰特和聚勒在内的一批高薪球员将不会获得续约合同，并将在赛季结束后以自由转会的方式离队。

【上咪咕独家看英超】

罗马诺：多特对重新签下桑乔很感兴趣，球员赛季末将离开曼联

賴賢宗

忧郁型抑郁障碍

蔡翛

重庆市委副书记、市长胡衡华接受中央纪委国家监委纪律审查和监察调查

王慶豐

全纯向量丛

沙朗通勒蓬

　　1991年，姚家伟正式跟随父亲学习傩戏，那时这门古老艺术正濒临失传。“我父亲姚克水时常在家小声哼唱，生怕被人听见。”姚家伟回忆道。正是这微弱的声音，点燃了他对傩戏的热爱，也将传承池州傩戏作为自己毕生的使命。 

　　匠心传承，从父亲手中接过傩戏火种 

　　池州傩戏被誉为“戏曲活化石”，保留了宋杂剧、南戏等古老戏曲形态，最初用于民间驱邪纳福、祈求丰收。20世纪60年代，这门古老艺术面临失传危机。 

　　姚家伟出生在傩戏世家，祖辈都是傩戏传承人。在父亲的小声哼唱中，儿时的姚家伟对傩舞傩戏产生了浓厚兴趣。1991年，他正式跟随父亲和其他老艺人学习傩戏。 

　　傩戏表演要求极高，需要通过肢体语言传达情绪，对眼神、身段都有严格标准。学习之初，姚家伟难以领悟技巧，在父亲手把手指导下，他不停地腾挪闪转，磨炼傩舞技艺。傩戏的难点不仅在于动作，更在于唱腔。傩戏唱腔没有曲谱，只有唱本，靠口口相授流传。姚家伟常常捧着剧本背台词到深夜，熟练掌握繁杂冗长的台词。 

　　表演时需要佩戴重逾2斤的木雕面具，固定在脸上，经年累月，姚家伟的脸部都被夹磨破皮。“留存下来的面具都非常珍贵，能佩戴表演已经很难得，每场表演都要尽善尽美。” 

　　为掌握更全面的技艺，姚家伟还练习了傩戏中最难的踩高跷。在反复练习与表演中，他逐渐成长为优秀的傩戏表演者。 

　　抢救整理，让濒临失传的剧目重获新生 

　　为更好地传承傩文化，姚家伟与老一辈共同整理傩戏资料，到各地搜集傩戏唱腔剧本。“那时候听闻哪家有传下来的傩戏剧本，我们就连日去拜访学习。”在他的不懈努力下，《孟姜女》《章文显》《陈州放粮》等许多傩戏被重新挖掘出来。傩戏表演逐渐活跃，从乡土民间走上更高规格的舞台。 

　　2008年2月，姚家伟被文化部命名为国家级非物质文化遗产项目傩戏（池州傩戏）代表性传承人。这是对他多年来努力的最好认可。 

　　培育新苗，让年轻一代接过传承火炬 

　　技艺成熟后，姚家伟思考如何让更多人了解、参与傩戏。从组织人员到傩戏教学，他事无巨细，忙碌不停。 

　　每年正月，他全程参与傩事活动，从前期筹备到演出安排，从台下教学到台上表演，都亲力亲为。多年来，仅正月期间他就表演傩戏300余场。 

　　“姚街村正月傩仪已延续600余年了，每年正月的傩事活动是整个家族最重要的大事。”姚家伟说，“特别是本村的学生们，寒假归来积极投身傩戏练习，我被深深打动。就冲他们这股认真劲，我也要毫无保留地传授所学。” 

　　教学时，姚家伟总是最早到场，将面具、服饰、道具摆放整齐。他先示范整套动作，每一个转身、踏步都力求精准，汗水浸透戏服也毫不懈怠。教“踩罡步”时，见学生记不住复杂舞步，他就用粉笔在地上画出行走路线，自己踩着斑驳的线痕反复走给孩子们看，青石板上渐渐磨出发亮的轨迹。 

　　有学生面具戴歪了，他立刻上前调整系带：“傩面是傩戏的精髓，戴端正了才有威仪。”深夜排练结束后，他总是留下加练的学生，点着灯细说戏文典故。 

　　创新融合，让古老艺术焕发时代生机 

　　为使傩戏更易被大众接受，姚家伟根据传统傩戏剧本《五星会》，新编排了《五星观赏》，充分融合现代元素。他还在《打赤鸟》傩舞表演中创造性改进舞伞动作和唱腔方式，赋予新的时代内涵。 

　　2015年，他应邀参加“中国南昌傩文化艺术周”表演活动，获得“伞舞”金奖和“关公登殿”优秀节目奖。2018年，他远赴法国巴黎参加“原生态意象节”，其表演得到国际友人和文艺界专家的高度肯定。 

　　姚家伟经常组织“送戏进校园”活动，不仅带领团队去往安徽师范大学等高校演出，还深入各乡村学校，让学生们近距离接触傩戏，培养他们对傩戏的兴趣与热情。“牢记使命，一代代延续。这是传承一种精神，一种信仰。”姚家伟说。 

　　他深知队伍年轻化是保护和传承傩戏的关键。这些年来，他以国家级传承人身份在池州市傩戏传习馆教授傩戏，积极参加各类活动宣传傩文化，希望带动更多年轻人走近、了解、传承傩戏。2015年7月，池州市启动非遗“名师带徒”工程，姚家伟作为傩艺培训班老师，参与了6批工程，带出方超、姚新祥等多名徒弟。 

　　夜幕降临，姚街村的傩戏排练场地依然亮着灯。姚家伟抚摸着傩面具上的纹路，仿佛触摸到父亲当年的目光。那些专注与坚守里，流淌着对傩文化的深爱。青石板上发亮的轨迹，不仅是脚步磨出的印记，更是一条连接过去与未来的文化之路。“只要还有人愿意学，我就会一直教下去。”姚家伟说这话时，眼神坚定如初。 （马泽冰）

姚家伟：三十载匠心守护 让千年傩戏焕发新生

貢達姆

布里苏福尔日

延西高速公路

本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用

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結束3天演唱會 子瑜發文謝謝台北滿滿能量

回顧TWICE在台北大巨蛋最終場演出時，周子瑜唱到一半淚灑舞台，感動地說，「我的夢想就是和成員們一起來到高雄和台北演唱會，所以謝謝你們讓我實現了這個願望」，她流下感動的眼淚，成員們也紛紛上前擁抱安慰。

隨著演唱會落幕，周子瑜也在IG上發文，謝謝這三天台北滿滿的能量，未來請繼續和她一起走下去！而TWICE的官方IG也曬出成員們在台北大巨蛋後台的跳舞影片，粉絲們已經迫不及待再次和TWICE在台灣相遇。

台北／李承庭、陳建國　責任編輯／施佳宜

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